用語解説

リーク試験(リークテスト)とは、主に真空装置・真空設備において行われる品質テストの1種です。設備の微小な空孔や溶接や接着に代表されるシーリングのミス等を検出するための試験になります。
試験方法には、装置・設備の内容物や用途、環境に応じて様々なものがあり、たとえば「内部を真空にする真空リーク試験」、「内部を加圧する加圧リーク試験」、「水中に沈めて漏れを見る水中リーク試験」、「ヘリウムを充填するヘリウムリーク試験」等が代表的な試験として挙げられます。

主に関係する設備
真空チャンバー(半導体業界)、コンプレッサー(空圧機器)、サニタリー系配管・タンク(食品業界)、

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リーク試験の種類